Расчеты процессов полупроводниковой технологии

Учеб, пособие для вузов. — М.: Металлургия, 1994. — 176 с.Книга содержит 14 задач по всем важнейшим процессам современной полупроводниковой технологии и является первым отечественным пособием такого типа. Каждая задача состоит из теоретической части, где в сжатом виде описаны основные закономерности процесса, пример решения, справочные данные и несколько вариантов расчетов.Справочный материал по термодинамическим константам и свойствам полупроводниковых соединений при различных температурах составлен по литературным данным, обработанным авторами учебного пособия на ЭВМ. Он представляет самостоятельный интерес для инженеров и специалистов, занимающихся разработкой процессов выращивания объемных полупроводниковых кристаллов и пленочных структур.Для студентов, вузов, обучающихся по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники". Ил. 30. Табл. 36. Библиогр. список: 14 назв.